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半导体工艺 的最小线宽是指金属连线的还是栅的宽度?

发布时间:2019-07-07 18:29 来源:未知 编辑:admin

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  展开全部从器件来讲,主要是指栅极长度(一般,栅极长度小于栅极宽度)。从加工精度来讲,主要是指套刻精度(最小间距);最小线宽是引线孔尺寸。因为并无统一的看法,仅供参考。

  展开全部最小线宽一般是指版图设计时的最小尺寸。当然,在工艺上,这些极限尺寸一般用于光刻套刻的对准游标上。

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